对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:
1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
净化工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业,在电子信息、半导体、光电子、精密制造、卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用,并根据行业的精密与无尘要求,等级差别也较大。净化车间级别的当属航天航空的航空仓,基本是属于1级,属于特殊领域,面积相对较小。另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间,物联网芯片的发 展将是未来需求的一大方向。随着电子元器件向微小化方向发展,液晶面板已经升级至第八代,行业需求非常巨大。
无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A型级别。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A型级别,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
无尘车间净化工程该如何选择与维护保养呢?
1.应提升留意房间内的温度湿度操纵,防止因环境湿度的不善导致冷凝水锈蚀。
2.当设备检修易造成微尘物体,故检修时尽可能于清理户外开展,并加护栏网防护。
3.针对工程施工或检修的生产商,应告之出入无尘车间的工作纪律要求,且承担技术工程师应随侍在侧现场监工。
4.需有无无尘车间常用工具组,但不可弄出无尘车间外应用。
5.设计室内空间时若能邻近无尘车间开设一间检修和设备维修手册放置室,将是一理想化的设计。