光学平板
随着大规模、超大规模集成电路制造技术的发展，由于大批量半导体硅片加工的需要，光学平板价格，国外出现了双面高速加工机床，适用于半导体硅片的双面研磨和抛光，进而被推广到高速研磨抛光光电仪器中的光学平板。光学平板通常作为分光镜或窗口等透过型元件或被用作全反射镜或光学测量中的基准平面。表面经过氧化发黑处理，既美观，也适合光路搭建的环境。
光学平板原理
光学平台系统包括光学台面和隔振腿。光学平台可放置仪器并对振动进行控制。光学平台台面是隔振系统中重要的一部分，其主要作用是提供一个无相对形变的刚性平台，当有振动源传递到桌面时，桌面蜂窝结构和阻尼可有效减弱光学平台振动变形。光学平台隔振腿除了支撑，主要作用是隔离来自地面的振动，隔振性能是其重要指标之一。其他性能还包括：各腿高度独立调节，自动水平，载重能力，高度可选，有无磁性等等。
光学平板
无磁性隔振光学平台被设计用来使超精密仪器设备可以隔离来自于建筑地面的振动，可隔离的频率低于1Hz。该系统可理想应用于光学显微镜、扫描探针显微镜及计量仪器。具有主动隔振系统设计，可以轻松选择并设置三个增益中的一个以获得适台当前环境的性能。气浮隔震光学平台供应大理石检测平台是检测量具，肯定不能作为别的量具的代用品。