显影工艺是怎样?
前工站加工的玻璃进入显影设备,对需要去除的油墨进行化学反应,进行剥离,然后进行表面清洗,形成高精度的油墨3D盖板。显影操作需控制好显影液的温度、传送速度、喷淋压力等参数。
曝光一般在曝光机内进行,目前的曝光机依据光源冷却方式可分为风冷和水冷,曝光质量取决于除干膜致抗蚀剂、光源选择、曝光时间、菲林胶片质量等因素。显影液去除并且清洗(rinse):达到显影时间后,使用DIW立即冲洗晶圆表面。去离子水不仅可以使显影过程终止,而且会把显影后缺陷颗粒冲洗掉。在冲洗过程中,晶圆旋转产生的离心力也对去除表面颗粒有很大的帮助。准备基础物质:先选择基础物质如硅片,并在其表面上涂上一层光刻胶。布图设计:根据芯片设计,制定合适的曝光和显影条件,并在计算机上生成掩模图形来辅助芯片制造。曝光显影是一种摄影术语,它是指将感光材料(如胶片、电影胶片或者数字摄像机中的传感器)通过曝光的方式记录下光影信息,再通过显影的方式将光影信息制成可视的影像的过程。将显影液涂覆在曝光后的晶圆表面上,正胶的曝光区域和负胶的非曝光区域溶于显影液中,进一步将反应聚合物和显影液残留冲洗后,就可以显现出光刻胶中的图形,