真空设备检漏与维修
为什么要检漏
泄漏和密封相对应
很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。检漏的任务就是在制造、安装、调试过程中，判断漏与不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置。
这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。
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真空设备检漏
一个真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有:抽气情况不良，即抽气系统本身的问题。放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。进行真空箱法检漏，检漏完成后工件及真空箱放空，保证了系统的可靠性和可维护性。找出泄漏部位，以便修补堵漏。
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气密检漏设备
1. 气密检漏设备检测产品有两种比较直观的产品，一种是使用测试气管直接连接产品的充气孔(产品自带充气孔)，再进密性测试，即采用直接检测方法，另一种是将产品放置在仿形模具内(根据产品外形定制)，对仿形模具内腔进行充气，然后进密检漏设备。
2. 选择上述不同两种方法检测产品的气密检漏设备。仅在气密检漏设备上选择相应产品的泄漏检测程序，程序根据产品的检测标准，提前设定充气时间、保压时间、检测时间、泄压时间及工装治具的基本检测动作。
3. 手动打开气密检漏设备或工装夹具的启动按钮，气密检漏设备自动进入检测环节，可在10-30秒内就能完成检测。
4. 检测时如果产品有大泄漏，即时被判定为不合格。如泄漏值在标准范围内，则合格。泄露值超出标准范围，即是不合格。
氢气
氢气是性气体。在密闭容器中，当氢气与空气混合，氢的含量为4％～75％，即形成炸的混合气体。我国发电机运行规程规定：“一般要求发电机内氢气纯度保持在96％以上。低于此值时，应进行排污”
大容量氢冷发电机内要求保持高纯度的氧气，其主要目的是提高发电的效率，从经济方面考虑。因为氢气混入空气或纯度下降时，混合气体的密度随氢气纯度的下降而增大，使发电机的通风摩擦损耗也随着氢气纯度的下降而上升。据美国GE公司介绍，一台运行氢压为0.5MPa、容量为907MW的氢冷发电机，其氢气纯度从98％降到95％时，摩擦相和通风损耗大约增加32％，即相当于损失685kW。一般情况下，当机壳内的氢气压力不变时，氢气纯度每降低1％，其通风摩擦损耗约增加11％。真空设备检漏与维修为什么要检漏泄漏和密封相对应很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。