无尘车间也叫洁净厂房、洁净室、无尘室。其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室材料设备主要有各类装饰材料和空调设备材料。对装饰材料应严格按国家有关工程技术标准、施工质量验收规范和设计文件的要求进行检验和验证。洁净室和空调送回风管道应在安装过滤器前达到清洁要求,净化空调系统必须连续空吹12小时以上,空吹后再对送回风管和空调机组内部进行清扫和擦洗干净。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。洁净室内密封控制重点内容是围护结构密封施工质量,如板材与板材之间应均匀涂密封胶,达到严密不漏风。
洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。要说净化工程在发展的前景方面,形势还是非常好的,市场需求更是一片大好。因为我们国家的制药、电子信息等行业都在迅速发展,所以对净化工程行业的发展起到了带动的作用。净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情,但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。
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