金百辰智能科技(浙江)有限公司从事汽车零部件、家电类、机械配件等塑胶成型与pvd镀膜工艺加工。
pvd真空镀膜加工与您分享如果生产过程中的真空度不够,表面上沾了灰尘或油滴之后会出现严重的后果。集成电路中细线的宽度是吸烟时吐出的烟雾颗粒直径的1/3,是一粒灰尘直径的近万分之一。对集成电路而言,哪怕落有一颗烟雾的颗粒,就好像大路上停了一架大型飞机一样,使电子无法通过或造成短路。
新材料开发离不开真空。
以分子束外延为代表的薄膜生长技术是新材料开发的重要手段,薄膜材料放到蒸发源中之后被蒸发或升华,在高真空环境中,薄膜材料的原子或分子可以长距离飞行,到达衬底成膜;而且由于残留气体少,衬底表面形成的薄膜纯度高。
表面科学领域对真空度的要求高。
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pvd真空镀膜加工与您分享高频感应加热蒸发
高频感应加热蒸发是将装有镀膜材料的坩埚放置在高频螺旋线圈的中央,使镀膜材料在高频电磁场的感应下产生强大的涡流电流和磁滞效应,致使膜层升温,直至气化蒸发。蒸发源一般有水冷高频线圈和石墨或者陶瓷(氧化镁、氧化铝、氧化硼等)坩埚组成。高频电源采用的频率为1万至几十万赫兹,输入功率为几至几百千瓦,膜材体积越小,感应频率越高。感应线圈频率通常用水冷铜管制造。高频感应加热蒸发方法的缺点是不易对输入功率进行微调,它有下述优点:
1、蒸发速率大:
2、蒸发源温度均匀稳定,不易产生镀料液滴飞溅的现象,也可以避免沉积在薄膜上产生现象:
3、蒸发源一次装料,温度控制比较容易,操作简单。
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