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使用气体质量流量控制器注意事项

1.怕粉尘, 若粉尘进到气体质量流量控制器内部会阻塞传感器和分流器, 导致数据误差, 所以建议在MFC进气口前加装过滤装置;

2.怕液体和油渍进到MFC, 一旦有液体进入到MFC内部会导致无法控制,所以建议在MFC进气口前端还要加装干燥装置，假如MFC的出口接有液体罐, 也要在MFC出口再加上单向阀, 避免液体流回;

3.怕应用湿冷的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 导致MFC通道毁坏, 因而在应用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统开展烘干解决;，并且在通腐蚀性气体前要检查管路的气密性，还要使用惰性气体对管路进行吹扫，然后再通腐蚀性气体，等MFC工作结束后还要使用惰性气体再次吹扫一遍管路，保证管路中不会残存腐蚀性气体。

4.怕在应用强腐蚀性、有毒有害及yiranyibao气体时不按安全性标准实际操作, 这样有可能导致人身及商品毁坏和其他明显的损害。

5.使用MFC前还需要将MFC进行通电预热，保证MFC在不通气时，瞬时流量处于0的位置，如果不通气时，瞬时流量显示有一定的数值，表示传感器出现“零漂”现象，可以先对MFC进行调零处理，否则将影响MFC的精度。

气体质量流量控制器特点

利用流体流过发热物体时，发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，当流体流动时，两者之间的温度差与流量的大小成线性关系，再通过微电子控制技术，将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。

采用全新的进口传感技术以及高精度的机械加工技术，能实现微小流量测量和控制，其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿，广泛应用于轻工化工环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氮气等气体的检测和控制

气体质量流量控制器对于气体的要求

1，气体必须洁净且没有颗粒物, 没有液体, 这就要求在MFC/MFM的上游气路中安装干燥器和过滤器。

2，输入的气体压力必须符合产品的耐压标准, 不能超过该产品要求的较大压力。

3、产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应, 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效，还容易产生危险。