真空镀膜设备由许多不同的零件组成,它们都是经过各种机械加工完成的,例如车铣、刨、磨、镗、焊接等。
真空镀膜设备在使用过程中,零件还会受到污染。这种污染与使用条件及真空泵有关。例如:真空镀膜机的内壁会被蒸镀材料污染;真空镀膜设备真空抽气机组的机械泵油更是污染源,设备长期工作后会使设备内部形成明显的油膜。这些污染同样会影响设备的性能,应注意随时清除。
真空镀膜应用是真空应用中的一个大分支,在光学、电子学、理化仪器、包装、机械以及表面处理技术等众多方面有着十分广泛的应用。
在真空镀膜机运转正常情况下,开动真空镀膜机时,须先开水管,工作中应随时注意水压。
在离子轰击和蒸发时,应特别注意高压电线接头,不得触动,以防触电。
镀制多层介质膜的镀膜间,应安装通风吸尘装置,及时排除有害粉尘。
膜层的特点:具有高硬度、高耐磨性(低摩擦系数)、很好的耐腐蚀性和化学稳定性等特点、表面细腻光滑并富有金属光泽同时颜色均匀一致,大幅度提高工件的外观装饰性能。在真空室中利用弧光(或辉光)放电所产生的能量将靶材(钛等金属或合金)直接蒸发(或溅射)离化生成金属离子,并通过电场进行加速与反应气体生成金属化合物,沉积在工件表面.其可以在产品表面镀覆金黄色、黄铜色、香槟色、银白色、黑色、玫瑰色、古铜色、咖啡色、紫铜色、褐色、深黑色等多种美观耐用的装饰膜。真空镀膜机的原理
真空主体——真空室根据加工产品的要求差异,大小也不一。目前应用的真空室有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。燃烧室由不锈钢制成,不需要生锈、坚固等。真空室的所有部分都设有连接阀,用于连接各种泵。
辅助抽气系统:排气系统是真空镀膜机的重要组成部分,主要由机械泵、增压泵(主要引入罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。机械泵首先将真空室抽入小于2.0 * 10-2 pa 的低真空状态,为扩散泵的后续真空抽吸提供了前提,然后在扩散泵的真空室抽吸时,机械泵与油扩散泵串联,完成抽吸作用。
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