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真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。声音的大小和频率取决于泄漏率的大小、两侧的压力、压差和气体的种类等。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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真空设备检漏

一个真空系统(或容器)要求做到绝dui不漏气是不现实的，也是没有必要的，所以就要根据真空系统实际应用的具体条件，对漏率指标提出合理的要求，只要漏孔的漏率已足够小，使得平衡压强低于真空系统工作所需的压强，这些漏孔就是允许的。然后将被检工件内的空气放空，放空后被检工件预抽真空，充注4%氢气和96%氮气至1。真空系统正常工作所能允许的做大漏气量，称da允许漏率，简称允许漏率。此值不仅是设计真空系统的一项主要指标，也是检漏的依据。

如果已知允许的总气载，而没有具体指明究竟有多大，那么，在设计合理的前提下。da允许漏率Q漏=0.1Q总，不同真空系统所允许的总漏率也不同。

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氢气检测仪在各行业氢气泄漏检测中的应用

1、工业用途

氢是主要的工业原料，也是重要的工业气体和特种气体，在石油化工、电子工业等方面有着广泛的应用。氢气还可用作合

成氨、合成盐酸的原料，冶金用还原剂，石油炼制中加氢脱硫剂等。如钢铁冶金行业，在生产和制作过程中会有

一步重要的环节，就是焦炉中的干馏。干馏的目的就是要去除煤炭中的硫、氮等杂质，让炼化过程获得更高的热值。但干馏

的过程中会释放大量的氢气和CO。所以就涉及到了氢气检测仪的应用

2、矿行业

是对煤炭、矿物质等自然产生的矿物进行采掘。而在采掘过程中由于地下情况复杂，就加大了发生氢气、CO等气体危害人员生命安全等情况发生的几率。所以，氢气检测仪、一氧化检测仪等就

成为了开采作业不可缺少的气体检测设备。

3、新能源行业

氢气作为汽车的清洁能源显然非常环保，因为装配有氢燃料电池组和电动马达的汽车排放物质就是水，基本无污染。