广州潽拓光电科技有限公司——Edwards真空泵保养价格
岛津是的涡轮分子泵(TMP)制造商之一。岛津TPM主要用于为制造半导体器件、太阳能电池和平板显示器提供不可或缺的高真空环境。
岛津生产的TMP具有国际水准的气体吞吐量和抽气速度,可满足日益严格的半导体制造的工艺需求。例如,使制造商能够在大面积硅片上沉积和蚀刻半导体薄膜。
我司特针常用的 Shimadzu TMP3203涡轮分子维修保养内容如下:
1、超声波清洗转/定子叶片及腔体 并烘干
2、更换了全套陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品
3、马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量
4、根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至G0.16标准,
5、测试0-27000rpm启动时间<3分钟*测试极限真空值<1.0*10-7mbar等
6、持续模拟生产现场测试24小时,
7、0-20KHz震动频谱加速度分析
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岛津公司自1875年创业以来,始终继承创始人岛津源藏的创业宗旨“以科学技术向社会做贡献”,并以此为公司宗旨,不断钻研时代、满足社会需求的科学技术,为社会开发生产具有高附加值的产品。在分析测试仪器、仪器、航空产业机械等领域,以光技术、 X射线技术、图像处理技术这三大技术为基础不断推陈出新,满足更加广泛的市场需求,使岛津的高科技产品在全世界都享有很高的评价。
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分子泵(Turbo Molecular Pump)主要用于为制造太阳能电池和半导体提供不可或缺的真空环境。岛津分子泵有着世界高水准的排气能力,并且有一系列的产品可以满足不同的太阳能电池模组和硅晶片的工艺需求
岛津分子泵的特点:
宽量程、大排量-可在广阔的压力范围内使用
电源装置比前期型号尺寸缩小一半-能使配电盘的面板小型化
电源装置不再使用蓄电池-电源装置无需维护
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目前SHIMADZU岛津制作所提供的产品众多,包括分析和测量仪器,yi疗系统和设备,飞机设备,工业设备,岛津齿轮泵,在广泛的领域,以及细致的响应服务
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