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在本发明中，进一步的，所述DDS合成单元连接有滤波电路和差分电路，所述滤波电路和差分电路用于滤除信号的谐波和高频干扰。[0052]其中，如图10所示，四路正弦信号分别经过滤波电路进行滤波，在经过差分电路来单差转换，以其中PH0O、PH180O为例，PH0O信号的滤波电路由若干电感和电容组成，具体PH0O信号的滤波电路由电感L501、电容C51，电感L503、电容C519，电感L50,5、电容C523组成

线槽间的距离即称为平面电机的齿距，而定子则按不同的细分控制方式，按编制好的运行程序借助于平面定子和动子之间的气垫才能实现步进运动。对定子的损伤将直接影响工作台的步进精度及设备使用寿命，损坏严重将造成设备无法使用而报废。由于平面电机的定子及动子是完全暴露在空气中，所以潮湿的环境及长时期保养不当将很容易使定子发生锈蚀现象，另外重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤，而影响平面电机的步进精度及使用寿命。